http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/48047| Название: | Моделирование химического состава пленок Cr-N, получаемых с помощью технологии имплантационно-стимулированного осаждения |
| Авторы: | Марченко, И. Г. Гугля, А. Г. |
| Ключевые слова: | естественные науки физика физика плазмы пленки ионные технологии азот имплантационно-стимулированное осаждение |
| Дата публикации: | 2001 |
| Библиографическое описание: | Марченко, И.Г. Моделирование химического состава пленок Cr-N, получаемых с помощью технологии имплантационно-стимулированного осаждения / И.Г. Марченко, А.Г. Гугля ; Научный физико-технологичский центр, г. Харьков // Научные ведомости БелГУ. Сер. Физика. - 2001. - №2(15).-С. 7-12. |
| Краткий осмотр (реферат): | Компьютерное моделирование осаждения пленок Cr-N, получаемых методом IBAD |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/48047 |
| Располагается в коллекциях: | № 2 (15) |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Marchenko I.G._Modelirovanie.pdf | 313.92 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.