| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Марченко, И. Г. | - |
| dc.contributor.author | Гугля, А. Г. | - |
| dc.date.accessioned | 2022-10-19T08:34:38Z | - |
| dc.date.available | 2022-10-19T08:34:38Z | - |
| dc.date.issued | 2001 | - |
| dc.identifier.citation | Марченко, И.Г. Моделирование химического состава пленок Cr-N, получаемых с помощью технологии имплантационно-стимулированного осаждения / И.Г. Марченко, А.Г. Гугля ; Научный физико-технологичский центр, г. Харьков // Научные ведомости БелГУ. Сер. Физика. - 2001. - №2(15).-С. 7-12. | ru |
| dc.identifier.uri | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/48047 | - |
| dc.description.abstract | Компьютерное моделирование осаждения пленок Cr-N, получаемых методом IBAD | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | естественные науки | ru |
| dc.subject | физика | ru |
| dc.subject | физика плазмы | ru |
| dc.subject | пленки | ru |
| dc.subject | ионные технологии | ru |
| dc.subject | азот | ru |
| dc.subject | имплантационно-стимулированное осаждение | ru |
| dc.title | Моделирование химического состава пленок Cr-N, получаемых с помощью технологии имплантационно-стимулированного осаждения | ru |
| dc.type | Article | ru |
| Appears in Collections: | № 2 (15)
|
