http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/46962| Название: | Photon assisted particle irradiation of silicon |
| Авторы: | Mordkovlch, V. N. Batabanellkov, M. Y. |
| Ключевые слова: | science physics photons irradiation silicon crystals semiconductors radiation |
| Дата публикации: | 1997 |
| Библиографическое описание: | Mordkovlch, V.N. Photon assisted particle irradiation of silicon / V.N. Mordkovlch, M.Y. Batabanellkov ; Institute of microelectronics technology and high purity materials, Russian academy of sciences // Научные ведомости Белгородского государственного университета. - 1997. - № 2 (5). - С. 191-195. |
| Краткий осмотр (реферат): | Since radiation methods are widely used in microelectronics technology, title problem still stand to govern the radiation defects behavior in the irradiated semiconductor, especially in silicon crystals |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/46962 |
| Располагается в коллекциях: | № 2 (5) |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Mordkovich_Photon.pdf | 280.38 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.