Исследование влияния состава остаточных газов на твердость, адгезионные свойства и элементный состав покрытий SiC-AlN, нанесенных методом магнетронного распыления

Abstract

Методом шликерного литья из чистых порошков микронного размера SiC и AlN в молярном соотношении 1:1 была изготовлена мишень SiC-AlN для последующего магнетронного распыления. Методом магнетронного распыления композитной мишени были получены покрытия на поверхности нержавеющей стали и монокристаллического кремния. Представлены результаты исследования влияния соотношения газов рабочей атмосферы аргон-азот, на структуру, состав, механические и адгезионные свойства полученных покрытий