| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Гончаров, И. Ю. | - |
| dc.contributor.author | Колесников, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Новиков, В. Ю. | - |
| dc.contributor.author | Ковалева, М. Г. | - |
| dc.contributor.author | Литовченко, С. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-05-25T20:03:43Z | - |
| dc.date.available | 2020-05-25T20:03:43Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Исследование влияния состава остаточных газов на твердость, адгезионные свойства и элементный состав покрытий SiC-AlN, нанесенных методом магнетронного распыления / И. Ю. Гончаров, Д. А. Колесников, В. Ю. Новиков [и др.] // Журнал нано- та електронної фізики. - 2018. - Т.10, N3. - Ст. 03028. | ru |
| dc.identifier.uri | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/30627 | - |
| dc.description.abstract | Методом шликерного литья из чистых порошков микронного размера SiC и AlN в молярном соотношении 1:1 была изготовлена мишень SiC-AlN для последующего магнетронного распыления. Методом магнетронного распыления композитной мишени были получены покрытия на поверхности нержавеющей стали и монокристаллического кремния. Представлены результаты исследования влияния соотношения газов рабочей атмосферы аргон-азот, на структуру, состав, механические и адгезионные свойства полученных покрытий | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | физика | ru |
| dc.subject | магнетронное распыление | ru |
| dc.subject | адгезия | ru |
| dc.subject | композитная мишень | ru |
| dc.subject | микротвердость | ru |
| dc.subject | покрытия SiC-AlN | ru |
| dc.subject | газы | ru |
| dc.title | Исследование влияния состава остаточных газов на твердость, адгезионные свойства и элементный состав покрытий SiC-AlN, нанесенных методом магнетронного распыления | ru |
| dc.type | Article | ru |
| Appears in Collections: | Статьи из периодических изданий (на русском языке)
|
