http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/48665| Название: | Влияние отжига на изменение внутренних напряжений в азотосодержащих углеродных пленках |
| Авторы: | Колпаков, А. Я. |
| Ключевые слова: | техника металловедение покрытия углерод углеродные пленки отжиг напряжение сжатие азот |
| Дата публикации: | 2004 |
| Библиографическое описание: | Колпаков, А.Я. Влияние отжига на изменение внутренних напряжений в азотосодержащих углеродных пленках / А.Я. Колпаков, Н.В. Камышанченко, М.Е. Галкина ; БелГУ // Научные ведомости БелГУ. Сер. Физико-математические науки. - 2004. - №3, вып.9(20).-С. 187-190. - Библиогр.: с. 190. |
| Краткий осмотр (реферат): | Предложено объяснение влияния азота, температуры подложки и последующего отжига на изменение величины внутренних напряжений сжатия |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/48665 |
| Располагается в коллекциях: | № 3, вып. 9 (20) |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Kolpakov_Vliyanie.pdf | 329.58 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.