http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/48665| Title: | Влияние отжига на изменение внутренних напряжений в азотосодержащих углеродных пленках |
| Authors: | Колпаков, А. Я. |
| Keywords: | техника металловедение покрытия углерод углеродные пленки отжиг напряжение сжатие азот |
| Issue Date: | 2004 |
| Citation: | Колпаков, А.Я. Влияние отжига на изменение внутренних напряжений в азотосодержащих углеродных пленках / А.Я. Колпаков, Н.В. Камышанченко, М.Е. Галкина ; БелГУ // Научные ведомости БелГУ. Сер. Физико-математические науки. - 2004. - №3, вып.9(20).-С. 187-190. - Библиогр.: с. 190. |
| Abstract: | Предложено объяснение влияния азота, температуры подложки и последующего отжига на изменение величины внутренних напряжений сжатия |
| URI: | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/48665 |
| Appears in Collections: | № 3, вып. 9 (20) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kolpakov_Vliyanie.pdf | 329.58 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.