| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Колпаков, А. Я. | - |
| dc.date.accessioned | 2022-10-26T08:56:44Z | - |
| dc.date.available | 2022-10-26T08:56:44Z | - |
| dc.date.issued | 2004 | - |
| dc.identifier.citation | Колпаков, А.Я. Влияние отжига на изменение внутренних напряжений в азотосодержащих углеродных пленках / А.Я. Колпаков, Н.В. Камышанченко, М.Е. Галкина ; БелГУ // Научные ведомости БелГУ. Сер. Физико-математические науки. - 2004. - №3, вып.9(20).-С. 187-190. - Библиогр.: с. 190. | ru |
| dc.identifier.uri | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/48665 | - |
| dc.description.abstract | Предложено объяснение влияния азота, температуры подложки и последующего отжига на изменение величины внутренних напряжений сжатия | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | техника | ru |
| dc.subject | металловедение | ru |
| dc.subject | покрытия | ru |
| dc.subject | углерод | ru |
| dc.subject | углеродные пленки | ru |
| dc.subject | отжиг | ru |
| dc.subject | напряжение | ru |
| dc.subject | сжатие | ru |
| dc.subject | азот | ru |
| dc.title | Влияние отжига на изменение внутренних напряжений в азотосодержащих углеродных пленках | ru |
| dc.type | Article | ru |
| Appears in Collections: | № 3, вып. 9 (20)
|
