http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/28225| Название: | RF-Magnetron sputtering of silicon carbide and silicon nitride films for solar cells |
| Авторы: | Zakhvalinskii, V. S. Piljuk, E. A. Goncharov, I. Yu. Rodriges, V. G. Taran, S. V. |
| Ключевые слова: | physics solid state physics thin films RF magnetron sputtering solar cells silicon carbide silicon nitride atomic force microscopy |
| Дата публикации: | 2014 |
| Библиографическое описание: | RF-Magnetron sputtering of silicon carbide and silicon nitride films for solar cells / V.S. Zakhvalinskii [и др.] // Journal of Nano- and Electronic Physics. - 2014. - Vol.6, №3.-Art. 03062. |
| Краткий осмотр (реферат): | RF-magnetron nonreactive sputtering method from solid-phase target in argon atmosphere was used for obtaining thin silicon carbide and silicon nitride films, that are used for constructing solar cells based on substrates of single crystal silicon of p-type |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/28225 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи из периодических изданий и сборников (на иностранных языках) = Articles from periodicals and collections (in foreign languages) |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Zakhvalinskii_Magnetron.pdf | 514.03 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.