| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Суджанская, И. В. | - |
| dc.contributor.author | Колпаков, А. Я. | - |
| dc.contributor.author | Поплавский, А. И. | - |
| dc.contributor.author | Гончаров, И. Ю. | - |
| dc.date.accessioned | 2023-05-30T11:23:58Z | - |
| dc.date.available | 2023-05-30T11:23:58Z | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.citation | Влияние давления азота на внутренние напряжения, морфологию поверхности и механические свойства наноразмерных углеродных покрытий / И.В. Суджанская, А.Я. Колпаков, А.И. Поплавский и др. ; НИУ БелГУ // Научные ведомости БелГУ. Сер. Математика. Физика. - 2011. - №11(106), вып.23.-С. 70-74. | ru |
| dc.identifier.uri | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/53397 | - |
| dc.description.abstract | Углеродные покрытия, легированные азотом толщиной до 100 нм, получены на подложках монокристаллического кремния импульсным вакуумно-дуговым методом при напуске азота в вакуумную камеру. Исследованы зависимости величины внутренних напряжений, степени шероховатости, механических свойств наноразмерных углеродных покрытий от давления азота | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | физика | ru |
| dc.subject | электричество | ru |
| dc.subject | наноразмерные покрытия | ru |
| dc.subject | углеродные покрытия | ru |
| dc.subject | азот | ru |
| dc.subject | морфология поверхности | ru |
| dc.subject | легирование азотом | ru |
| dc.subject | внутренние напряжения | ru |
| dc.subject | микротвердость | ru |
| dc.subject | трещиностойкость | ru |
| dc.title | Влияние давления азота на внутренние напряжения, морфологию поверхности и механические свойства наноразмерных углеродных покрытий | ru |
| dc.type | Article | ru |
| Appears in Collections: | № 11 (106), вып. 23
|
