http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/28230| Название: | Temperature influence on the properties of thin Si₃N₄ films |
| Авторы: | Zakhvalinskii, V. S. Abakumov, P. V. Piljuk, E. A. Rodriguez, G. V. Goncharov, I. Yu. Taran, S. V. |
| Ключевые слова: | physics solid state physics thin films nanoscale films properties temperature influence Raman spectroscopy atomic force microscopy small-angle X-ray scattering |
| Дата публикации: | 2015 |
| Библиографическое описание: | Temperature influence on the properties of thin Si₃N₄ films / V.S. Zakhvalinskii [и др.] // Journal of Nano- and Electronic Physics. - 2015. - Vol.7, №4.-Art. 04052. |
| Краткий осмотр (реферат): | Applying Raman spectroscopy, small-angle x-ray scattering, and atomic force microscopy it were studied phase composition and surface morphology of nanoscale films Si₃N₄ (obtained by RF magnetron sputtering) |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/28230 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи из периодических изданий и сборников (на иностранных языках) = Articles from periodicals and collections (in foreign languages) |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Zakhvalinskii_Temperature.pdf | 242.92 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.